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傳感器技術與應用 賈海瀛 知識儲備教學課件教學課件0-2 了解傳感器的分類和發展.ppt

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分類:(1)按照被測物理量:溫度、壓力、位移、轉速、加速度、位置、濕度、氣體濃度、流量、流速等傳感器。(2)按照傳感器的工作原理 (3)轉換能量 (4)轉換機理 傳感器的樣式細長型壓力傳感器   位移傳感器     溫度傳感器傳感器的發展 1.發現并利用新現象 利用物理現象、化學反應、生物效應作為傳感器原理,所以研究發現新現象與新效應是傳感器技術發展的重要工作,是研究開發新型傳感器的基礎。 日本夏普公司利用超導技術研制成功高溫超導磁性傳感器,是傳感器技術的重大突破,其靈敏度高,僅次于超導量子干涉器件。 傳感器的發展 2.利用新材料 傳感器材料是傳感器技術的重要基礎,由于材料科學進步,人們可制造出各種新型傳感器。例如用高分子聚合物薄膜制成溫度傳感器;光導纖維能制成壓力、流量、溫度、位移等多種傳感器;用陶瓷制成壓力傳感器。 傳感器的發展 3.微機械加工技術 半導體技術中的加工方法有氧化、光刻、擴散、沉積、平面電子工藝,各向異性腐蝕及蒸鍍,濺射薄膜等,這些都已引進到傳感器制造。因而產生了各種新型傳感器,如利用半導體技術制造出硅微傳感器,利用薄膜工藝制造出快速響應的氣敏、濕敏傳感器,利用濺射薄膜工藝制壓力傳感器等。 傳感器的發展 4. 集成傳感器 集成傳感器的優勢是傳統傳感器無法達到的,它不僅僅是一個簡單的傳感器,其將輔助電路中的元件與傳感元件同時集成在一塊芯片上,使之具有校準、補償、自診斷和網絡通信的功能,它可降低成本、增加產量,美國LUCAS、NOVASENSOR公司開發的這種血壓傳感器,每星期能生產1萬只。 傳感器的發展 5. 智能化傳感器 智能化傳感器是一種帶微處理器的傳感器,是微型計算機和傳感器相結合的成果,它兼有檢測、判斷和信息處理功能,與傳統傳感器相比有很多特點。美國HONYWELL公司ST-3000型智能傳感器,芯片尺寸才有3×4×2mm3,采用半導體工藝,在同一芯片上制成CPU、EPROM、靜壓、壓差、溫度等三種敏感元件,把傳感器、信號調節電路、單片機集成在一芯片上形成超大規模集成化的高級智能傳感器。
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