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電鍍深鍍能力與均勻性測試報告.ppt

'電鍍深鍍能力與均勻性測試報告.ppt'
*電鍍均勻性與深鍍能力測試報告 報告人:周英春 日期:2013/1/15內容1.目的2.測試板制作、測試條件、參數及方法3.鍍銅均勻性及深鍍能力測試結果4.結論5.附表 定期測試電鍍工序均勻性及深鍍能力,以保證電鍍工序制程品質穩定,建立其制程中不良產品的減少與預防為目的,以實施產品質量合格化,進而生產出優良產品以滿足客戶之要求 目的: a. 規格 開料尺寸:24.5*20.5” 板厚:1.5MM 數量:16PNL b.測試板鉆帶制作 因成本考慮,電鍍均勻性與深鍍能力同PNL測試,測試板鉆帶號為ME-TEST001,并鉆不同孔徑0.25-0.35MM孔,如下圖示:鉆咀0.25MM,縱橫比6:1鉆咀0.30MM,縱橫比5:1鉆咀0.35MM,縱橫比4.3:1 測試板制作: C.測試流程 → → →測量銅厚烘干PTH鉆孔全板電鍍開料整理報告 D.測試工具 電腦,金相顯微鏡,烤箱,切片模,研磨機,CMI銅厚測量儀 E.測試電鍍生產參數 - 測試槽體:全板電鍍線1# - 電鍍參數:12ASF*110MIN /14ASF*90MIN - 操作參數:槽名槽體積溫度(℃)分析控制藥水分析值分析成分分析范圍控制點除油3000L40LP-2004-6%5%4.7%H2SO44-6%5%5.5%酸浸3000LRTH2SO48-12%10%10.5%電鍍銅槽1#8000L24(22-26)CuSO460-90g/l6065H2SO4180-220g/l200215HCl40-80ppm60652001 Additive HS0.5-1.5ml/l0.75/2001 Carrier2-15ml/l7.5/ 測試條件及參數:電鍍均勻性:以每飛靶掛8PNL板,編號測量面銅厚,區分C面/S面測量面銅,每PNL板單面測量28點,如下為掛板圖與測量點示意圖:掛板編號示意圖CMI 銅厚測量點板面分布圖(白色圓圈處為測量點)計算公式:COV=MAX-MIN/2AVE 測試方法:電鍍深鍍能力:切片測量不同縱橫比的深鍍能力,兩種電鍍生產條件(12ASF*110mins/14ASF*90mins)以六點法計算方式測試深鍍能力A B C D 均指鍍銅厚度,不包括底銅厚E F均指孔中間銅厚計算公式:T/P={(E+F)/2}/{(A+B+C+D)/4}測試板標準:均勻性COV≤15% 深鍍能力T/P >80% 測試方法:- 電鍍參數:12ASF*110mins- 鍍銅均勻性:86%,滿足要求 電鍍均勻性測試結果:- 電鍍參數:14ASF*90mins- 電鍍均勻性:85%,滿足要求 電鍍均勻性測試結果:電鍍深鍍能力測試結果: 同一制板條件下,電流密度越小,電鍍時間越長,深鍍能力越好, 12ASFX110min的深 鍍能力優于14ASFX90min電鍍均勻性測試結果:(1#銅缸) - 電鍍參數:12ASF*110mins,COV=14% - 電鍍參數: 14ASF*90mins 14ASF*90mins,COV=15% - 2種條件的測試結果均能滿足要求(COV≤15%), 12ASF*110mins優于14ASF*90mins深鍍能力測試結果: (1#銅缸) - 電鍍參數:12ASF*110MIN ,縱橫比在6:1、5:1、4.3:1條件下, 平均T/P值均≥80% - 電鍍參數:14ASF*90MIN ,縱橫比在6:1、5:1、4.3:1條件下, 平均T/P值均≥80% - 同一制板條件下,電流密度越小,電鍍時間越長,深鍍能力越好, 12ASFX110min的深 鍍能力優于14ASFX90min 結論:1、深度能力測量數據:電鍍參數: 12ASF*110MIN,縱橫比 6:1,0.25MM孔徑測量結果 附表: 附表:2、深度能力測量數據:電鍍參數: 12ASF*110MIN,縱橫比 5:1,0.3MM孔徑測量結果 附表:3、深度能力測量數據:電鍍參數: 12ASF*110MIN,縱橫比 4.3:1,0.35MM孔徑測量結果 附表:4、深度能力測量數據:電鍍參數: 14ASF*90MIN,縱橫比 6:1,0.25MM孔徑測量結果 附表:5、深度能力測量數據:電鍍參數: 14ASF*90MIN,縱橫比 5:1,0.3MM孔徑測量結果 附表:6、深度能力測量數據:電鍍參數: 14ASF*90MIN,縱橫比 4.3:1,0.35MM孔徑測量結果Thanks
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