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微弧氧化制備 BaTiO3介電薄膜的電解液體系優化.pdf

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第39卷 第7期2014年7月HEATTREATMENTOFMETALSVolf暢39Nor暢7July2014微弧氧化制備BaTiO3介電薄膜的電解液體系優化王 敏1,郭會勇2,李文芳3,張果戈3(1.廣東技術師范學院機電學院,廣東廣州?。担保埃叮叮?;2.平高集團有限公司,河南平頂山?。矗叮罚埃埃?;3.華南理工大學材料科學與工程學院,廣東廣州?。担保埃叮矗埃┱河谜辉囼灧▽Γ拢幔裕椋希潮∧の⒒⊙趸娊庖后w系進行優化,并對最優電解液體系下所得薄膜的物相組成,元素分布情況、表面形貌及介電性能進行了表征。結果表明,最優電解液體系為0.5mol/LBa(OH)2+0.1g納米TiO2+0.05g乙二醇+0.2g甘油;最優電解液體系下所得薄膜主要由四方相BaTiO3和極少量BaCO3組成,且薄膜表面平整、孔洞分布均勻、孔徑細小,其在100Hz下的介電常數為245.3。關鍵詞:電解液;微弧氧化;BaTiO3;介電薄膜中圖分類號:TGTM22+3  文獻標志碼:A  文章編號:0254-6051(2014)07-0162-04[27]LiuJunyan,GongJinlong,LiuLiqiang,etal.Investigationonstressdistributionofmultilayeredcompositestructure(MCS)usinginfraredthermographictechnique[J].InfraredPhysics&Technology,2013,61:134-143.[28]FargioneG,GeraciA,LaRosaG,etal.Rapiddeterminationofthefatiguecurvebythethermographicmethod[J].InternationalJournalofFatigue,2002,24(1):11-19.[29]LaRosaG,RisitanoA.Thermographicmethodologyforrapiddeterminationofthefatiguelimitofmaterialsandmechanicalcomponents[J].InternationalJournalofFatigue,2000,22(1):65-73.[30]YanZhifeng,ZhangHongxi。省略部分。ndEngineering,SouthChinaUniversity,GuangzhouGuangdong510640,China)Abstract:OrthogonaltestwascarriedtogaintheoptimizedelectrolyticsystemofBaTiO3filmpreparedbyMAO.Thephasecomposition,elementaldistribution,surfacemorphologyanddielectricpropertyofthefilmsamplewerestudied.Itisfoundthattheoptimizedelectrolyticsystemis0.5mol/LBa(OH)2and0.1gnanoTiO2and0.05gglycoland0.2gglycerin,andtheBaTiO3filmpreparedwiththeoptimizedelectrolyticsystemiscomposedmainlyoftetragonalBaTiO3phaseandatraceofBaCO3andpossesseshighdielectricconstantof245.3atthefrequencyof100Hz,alsoSEManalysisshowedthatthesurfaceofthefilmwassmoothandthedistributionofsmallMAOholeswereuniform.Keywords:electrolytesolution;microarcoxidation;bariumtitanate(BaTiO3);dielectricfilms收稿日期:2013-12-23基金項目:廣東省自然科學基金(S2013010015211);中央高?;究蒲袠I務費專項資金(2012ZZ0011)作者簡介:王 敏(1978—),女,碩士,講師,主要從事材料表面工程研究,E-mail:winawang@163.comdoi:10.13251/j.issn.0254-6051.2014.07.038BaTiO3(簡稱BT)作為最早發現的鈣鈦礦型鐵電體,因具有高介電常數、低介電損耗和反常光生伏打效應[1],而被認為在微電子學、光電子學和微機械學等領域具有廣泛的應用前景。微弧氧化作為一種
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